真空泵选型方案
时间:2017-02-15 15:42
来源:德耐尔真空泵
作者:Denair
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选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为:5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油真空泵,如:水环真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择
还有人问小德那么真空表读数所反映的究竟是多少Pa。能不能用直观的数字来显示?小德在这里告诉你,可以的。
(1) 真空表上 “0”表示正一个大气压, “-0.1”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值,只表示了真空度的相对值。 真空度的换算; 根据本表的刻度示值范围,真空度的绝对值与相对值可用下式换算:P=1×105(1-δ/0.1) P - 真空度的绝对值(Pa) δ- 真空表的刻度示值绝对值 例一:表的示值为O,则P=1×105(1-O/0.1)=1×105 Pa = 1个大气压 例二:表的示值为0.1,则P=1×105(1-0.1/0.1)= 0 Pa为绝对真空。 (绝对真空是不存在的) 例三:表的示值为0.08,则P=1×105(1-0.08/0.1)= 2×104 Pa 本产品的真空度指标值为<267Pa,表示本产品在267Pa(表面示值约为0.0997,接近于-0.1)时的低真空度状态下仍能保证正常工作。产品的真空度主要取决于配套真空泵的性能。 真空度计量单位换算如下: 0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1个大气压 1乇 = 1mmHg = 133.33Pa 2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa
(2) 真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格比较昂贵,一般适用于科研单位。
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