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真空阀门及其基本要求

时间:2017-02-20 16:04

来源:德耐尔真空泵

作者:Denair

点击:

真空阀门是在真空设备的真空系统中用来隔离(切断)气流、气流、气体流量、分配气流的真空元件。真空设备种类繁多,但它们都离不开真空系统,而真空系统由真空容器(真空室)和真空抽气机组所组成。无论是简单的或复杂的真空系统都离不开真空阀门。因此,真空阀门在真空系统中是必不可少的元件,在真空设备中占有重要的地位。例如,真空放气阀是用来给真空系统放入大气的。真空装置(设备)完成真空作业后,若要更换工作或取出样品,必须将大气放入真空室,使真空室大门两侧没有压力差,才能打开大门进行工件更换。又如,高真空挡板阀、高真空插板阀,常用安装在真空容器与主抽气泵进气口之间,用来隔离真空抽气泵。当真空容器放气时,使之该泵不显露于大气之中。还有真空微调阀(俗称针阀)是向真空系统中充气,并能调节气体流量的真空阀门,它常用于真空泵抽气测量,真空镀膜设备等真空系统上,提供精确调节的气体流量,用以获得充足的真空度;电磁充气真空阀(包括各类真空压差阀)常用于机械真空泵的进气口上。当机械真空泵停止工作时,阀盖关向真空侧。同时,给机械真空泵放气,避免大气压力将泵油压入真空系统中(即称机械泵返油)。高真空蝶阀可装于真空容器、真空管道与真空泵之间,用以接通好隔离(截止)气流。总之,真空阀门在真空设备中的作用很大。种类繁多的真空阀门,广泛用于电子、半导体、集成电路、真空测量、真空检漏、离子束、电子束、激光束、可控热核反应及航天航空等领域。

真空阀门的基本要求

根据真空阀门的应用场合,使用特点,其基本要求,应包括这么几个方面。

1、阀门的密封性要求。即应用有较高的气密性,不但阀盖(亦称阀板)封闭处漏气滤要求,而且阀体的漏气率也要求。

2、阀门密封部件耐磨性要好。特别是阀座与阀盖密封部件要能反复使用、寿命长。

3、阀门对气流的阻力尽量小,即阀门的流导尽可能要好。

4、阀门材料应具有低饱和蒸气压,高抗腐蚀能力和高化学稳定性、超高真空阀门材料应耐烘烤。烘烤温度一般不低于150℃,更高450℃。

5、阀门零部件加工工艺性要好,表面处理工艺先进,阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准。具有通用性、互换性。

6、阀门结构要简单,造型美观大方,开关轻便、灵活。开关状态应有标志。大型阀门应用起吊装置,操作方便,维修容易。

此外,对节流阀要求能均匀调节气体流量,对真空微调阀(又称针阀)由于它是用来向真空系统中充气并可精确调节进气流量的,常用于真空泵抽速测量、真空镀膜设备、离子束刻蚀设备真空系统中,因此,该阀对针型状的阀芯加工质量要求较高。阀门的开放、关闭应有限位装置,以避免关闭阀门时因用力过大,将针阀芯拧断事故的发生。

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