爪型干式真空泵的特点

1、转子对悬浮在泵腔内，转子对间与泵腔间均无接触摩擦。

2、可直排大气独立工作，并可在高压下长期连续运转，能做气体输送泵用，压缩比可达10～10的5次方Pa。

3、能抽出可凝性气体、腐蚀性、剧毒性、放射性和易燃易爆气体。

4、能抽出其他携带的金属粉尘和矿物颗粒。

爪型干式真可泵所用电机转速转高，一般在1500r/min或3000r/min左右。泵在运转时，高温气体在泵腔中产生高速的内流动，这对于可能会产生潜在污染的场合是很理想的。当抽除腐蚀性和潮湿的蒸汽的时候，泵体内部形成的高温高速的内流动气流会阻止气体腐蚀泵体;而且，泵的高温可以阻止室温下凝结的气体在泵内凝结。带有冷却装置的爪型干式真空泵可以安全地出去易燃易爆和对温度敏感的气体。

爪型干式真空泵可以做成单级，也可以做成很多级。英国的爱德华公司生产了一种将罗茨转子与爪型转子相组合的一种干式真空泵。它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强下爪型干式真空泵抽气比较有效的特点，将这两种泵各自的优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性能比较优良。这种泵第一次以更低的运行成本和维护费用真正实现了干式的预抽泵和前级泵。

爪型干式真空泵特别适用于真空度达1Pa，含水分和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片、光学通讯设备及平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程，在众多的干式真空泵中，爪型干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科技行业青睐的一种容积式干式真空泵。

在国外，爪型干式真空泵业作为液环泵+水蒸气喷射泵的替代产品成功应用于VD/VOD中，并取得了良好的经济效益和环保效益;不仅可以节约90%的操作成本，而且大大减少了产生的废水量和粉尘的排放量。

除此之外，爪型干式真空泵还应用于化工、核工业、薄膜、仪器、医药、生物制品和食品等领域。

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