螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于上世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆真空泵在面世后获得了快速发展。现在就跟小编去了解一下它的基本知识吧。
 

 

      螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点： 

 

      清洁无油，多相混输，适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。 

 

      螺杆真空泵结构简单，动平衡好，可靠性高。零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。 

 

      也正因为的结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。  

 

      螺杆真空泵可以在宽压力范围内保证较大抽速，强制输气，排气量几乎不受排气压力影响。 

 

      虽然螺杆式真空泵的前期购置费用较为昂贵，但从长远来看，螺杆式真空泵适应性广泛、高效节能环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益。随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。