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真空泵的过滤器、装配工艺你了解多少?

时间:2020-12-11 17:40

来源:未知

作者:Denair

点击:

      对于真空泵过滤器的初步认识:
 
      1、滤芯式过滤器也是我们配的最多的一种,一般过滤精度在50微米,根据泵的尺寸大小来配相应的过滤器。
 

 
      2、布袋式过滤器,这种是针对单晶硅真空机组专门定制的过滤器,过滤量大。
 

 
      罗茨真空泵的装配工艺(需全程保持干净):
 
      1、把泵体安放在工装台上,安装主、从动转子。
 
      2、用活塞环套工装限位,安装4个活塞环套,注意活塞环缺口均分。
 
      3、安装轴承座和轴承,注意要先在轴和内孔涂上真空油,三点敲击轴承,使轴承平衡后用轴承工装安装到位。需时刻注意防止轴承座和轴承倾斜。
 
      4、用汽油清洗从动轴表面,擦干,装上从动齿轮和胀套,胀套先均匀预紧,调整转子之间的间隙。
 
      5、调整两边联轴器的角度,装上电机。
 
      6、安装进气口盖,装配完成,放到待检区。

 

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