超高真空与高真空系统的对比，超高真空主要用于研究表面，热核反应，高能加速器，半导体研究，空间模拟等科学领域，由于这些现代科学的发展需要，大大促进了超高真空技术的发展。

 

 

      现代超高真空技术特点：

 

    

      1.真空装置容量大，达到上千平方米，并且达到的真空度高；

 

    

      2.测试手段复杂，除了测试真空度外，还包括质谱分析，低能电子衍射，电子谱等；

 

    

      3.材料选择用不锈钢代替玻璃，密封材料多半使用铜；

 

    

      4.用低温泵，各种钛泵代替油扩散，用无油真空替代了有油真空；

 

      超高真空与高真空系统设计有不少相同之处，主要有：管路的流导计算；壳体强度计算；主泵抽速计算及泵之间匹配选择；真空元件的清洁处理及检漏等。

 

      超高真空与高真空系统设计也有许多不同之处：选择真空泵的方法不同；对材料要求更为严格；密封结构和密封材料不同；采用了烘烤措施；焊接结构和方法不同；对漏率控制更为严格。