真空泵机组是由多个真空泵组成的系统。它通常包括一个主泵和一个或多个辅助泵。主泵是用来抽取大量气体的泵，而辅助泵则是用来抽取低压气体和帮助主泵达到更高真空度的泵。这种多泵组合的设计，可以使得真空泵机组在抽取气体的效率和真空度方面都比单一泵更为出色。
  真空泵机组的工作原理基于热力学原理、气体动力学原理、物理学原理。
（1）根据热力学原理，气体的压力与体积成反比，当气体压力降低时，体积会增大。因此，将容器内部的气体压力降低到低于大气压的状态时，气体分子之间的碰撞频率减少，气体分子的平均自由程增大，气体体积增大，最终形成真空状态。
 
（2）气体动力学原理指出，气体分子在容器内部运动时，会与容器内部表面发生碰撞，产生反弹和散射。当气体分子的平均自由程大于容器的线度时，气体分子的运动就不再受到容器内部表面的影响，而是受到气体分子之间的碰撞影响。因此，将容器内部的气体压力降低到一定程度时，气体分子之间的碰撞频率减少，气体分子的平均自由程增大，最终形成真空状态。

   （3）真空泵机组可以利用物理原理将容器内部的气体抽出。例如，机械泵是利用机械运动将气体抽出，分子泵是利用高速旋转的转子将气体抽出，离心泵是利用离心力将气体抽出，根据不同的原理可以选择不同的真空泵机组。
 
总之，真空泵机组的工作原理基于热力学、气体动力学和物理原理。通过降低容器内部的气体压力，减少气体分子之间的碰撞频率和增大气体分子的平均自由程，最终形成真空状态。真空泵机组在半导体、光学、电子、化工、医疗、航天等领域有着广泛的应用，是现代工业中不可或缺的设备之一。