1、首先需要充分了解被抽气体的组成成分。
　　真空泵的要能够保证抽出工艺过程中的气体，真空泵选型也要保证真空泵的适用性，就需要了解气体中是否含有可凝气体、是否含有粉尘颗粒、是否具有腐蚀性、易燃易爆等；如果气体中含有可凝性气体和颗粒尘埃，应该考虑在泵的进气口管路上安装如冷凝器、除尘器等辅助装置；如果抽取气体含有腐蚀性，则须选用可靠材质；若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵，配备防爆电机，水环式真空泵在工作过程中是等温的。

2、真空泵排出来的油蒸气对环境是否具有影响。
　　如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到可控区域。

3、真空设备部件材质的要求。
　　如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀；带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

4、真空泵工作时产生的振动。
　　真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，对于环境不允许时，可以选择无振动的泵或者采取减震措施。

5、真空泵的极限真空度
　　真空泵选型时的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。

6、准确地组合真空泵。
　　由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，可以把多种泵组合成组合泵，互相补充达成抽气目的。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来运用。
前级泵在主泵出口处产生的压力要比主泵所排出的最大排气压力低，前级泵应保证能够及时排出主泵所排出的气体，最后，兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间和预抽真空度的要求。

7、所选真空泵的价钱、运行及维护费用。
　　真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。
 
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