1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空 镀膜要求 110-5mmHg 的真空度,选用的真空泵的真空度至少要 510-6mmHg。通常 选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。选择泵的极限压力低于技术请求约一个数量级。
 

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为 10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为 510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在 10-8mmHg 下长期工作。 又如钛升华泵可以在 10-2mmHg 下工作, 但其工作压强应小于 110-5mmHg 为好。
 

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
 

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能 满足抽气要求, 需要几种泵组合起来, 互相补充才能满足抽气要求。 如钛升华泵 对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵, (或二极型非对称阴极 溅射离子泵) 对氩有一定的抽速, 两者组合起来, 便会使真空装置得到较好的真 空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压 强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
 

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有 油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
 

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。挑选真空泵时，需求知道气体成分，对于被抽气体挑选相应的泵。假如气体中富含蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应当思考在泵的进气口管路上装置辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
 

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
 

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许有污染, 应选择无振动的泵或者采取防振动措施。