干式螺杆真空泵泵浦电控系统功能：

1、PIL控制器：负责真空泵泵浦系统运转状态监控、记录；整合开关阀、加热器、变频器，并依设定值提供警告及警报讯息；提供适当的人机操作界面、通讯埠、控制讯号埠。

2、人机控制器：提供参数设定、运转讯息显示、警告讯息显示、启动、停止。

3、控制讯号埠：依规范SEMI E73-0299。

4、通讯埠：透过RS485网络联结，由PC监控。

图为真空泵浦电控系统架构

图为泵浦监控程序

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