罗茨真空泵的特点及原理
时间:2017-01-13 16:44
来源:德耐尔真空泵
作者:Denair
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罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨泵工作压力范围不同,它可分为直排大气的干式罗茨泵和湿式罗茨泵,这种罗茨泵属于低真空罗茨泵;此外还有中真空罗茨泵(机械增压泵)和高空多级罗茨泵等。那么本篇文章小德就从罗茨真空泵的特点和原理来给大家讲述一下。
1、在较宽的压力范围内有较大的抽速。
2、设有旁通溢流阀可在大气压力下启动,缩短了抽气时间。
3、转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙,泵内运动无摩擦,不必润滑,泵腔内无油。
4、转子形状对称,动平衡性能良好,运转平稳,选择高精度的齿轮传动,运转时噪音低。
5、结构紧凑,占地面积小,通常选卧式结构,泵腔内气体垂直流动,有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除。
6、选择适宜的转子型线和精细的研磨加工,可获得较高的容积效率。
7、运转维护费用低。
图为罗茨真空泵抽气过程
罗茨真空泵是一种双转子的容积式真空泵。如图所示,在泵腔内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,期间通常有0.15~1.0mm的间隙,泵腔靠间隙来密封。
由于罗茨真空泵泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500~3000r/min,而且不必用油润滑,可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮,以及动密封处。泵没有往复运动部件,故可实现良好的动平衡。因而罗茨泵运转平稳,转速高,尺寸小,可获得大的抽速。
如图所示,由于转子的不断旋转,被抽气体从吸气口进入泵腔,被封闭在吸气腔泵体内,再经排气口排出泵外。由于在吸入泵体空间内的气体没有被压缩,当转子的顶部转过排气口边缘时,泵体空间这时与排气侧相通,由于排气侧气体压力较高,部分高压气体返流到泵体空间内,使泵腔内的压力突然升高达到排气压力。这就是所谓的外压缩过程。转子继续旋转时,被抽气体被排出泵外。两个转子的不断运转,就实现了罗茨泵的抽气过程。
小德有话说:罗茨泵在真空工程领域中应用时,一般与前级泵(旋片真空泵、滑阀真空泵和水环真空泵等)串联构成机组,在中真空范围,作为机械增压泵来应用;双级或多级罗茨泵机组可获得高真空;对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨泵机组;对于含水蒸气的被抽系统,多用湿式罗茨泵。
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