为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，必须进行彻底的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。

旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有异物，并擦去表面腻子。

玻璃扩散泵，玻璃管和玻璃旋塞的清洁

1如有必要，用冷水彻底冲洗并用棉绒擦拭;

2如果玻璃表面有油脂，请用较厚的苛性钠溶液清洗;

3用重铬酸钾溶液（又称乳液）洗涤，配方如下:

重铬酸钾饱和水溶液20~30ml

浓硫酸（94％）500ml

在制备方法中，将重铬酸钾加入蒸馏水中直至晶体不再溶解，即得到饱和溶液，并测量所需量，然后缓慢加入浓硫酸并连续搅拌以制备洗涤液。使用时，温度优选在100和110℃之间。此时，溶液是透明的红色。几次失败后，溶液变绿或染色;

4用冷水冲洗，然后用蒸馏水清洗，玻璃上应该没有可见的水滴;

5用吹风机吹干或放入烤箱晾干。

真空橡胶管（或橡胶块）清洁

1在15％~20％苛性钠溶液中煮沸（70°C~80°C）超过1小时。

2冷水冲洗;

3在水中煮沸;

4吹干或干燥。

玻璃塞在使用中清洁

在使用玻璃塞一段时间后，它经常泄漏并且难以旋转。此时，棉花可以用汽油，三氯乙烯或四氯化碳擦洗，以去除油脂。溶剂完全蒸发后，使用适当类型的真空油脂密封。
清洁金属部件

一般旋片真空泵小金属部件，用有机溶剂除油，然后晾干。如果对金属部件和材料有特殊的清洁要求，此时的清洁方法可根据具体要求进行处理，一般原则是尽量减少天然气和污染源。