清洁、耐用、低噪音等优势是干式真空泵的标签，在半导体、化工等一些工况较恶劣的行业使用也越来越广泛。但在实际的应用中，干式真空泵也分接触型与非接触型，因此在处理一些含颗粒物气体过程中，并不是所有的干式真空泵都如螺杆真空泵、罗茨真空泵等非接触型泵种一样对颗粒气体有良好的耐受性，而是需要通过过滤设备来予以解决。

 

      此外，即使是非接触型干式真空泵对颗粒性气体有良好耐受性，那我们为防止意外，也需要尽量避免介质在真空泵泵内由于化反或气固变相形成颗粒物。今天我们就来讲一讲，在干式真空泵应用中防止泵内出现颗粒物的解决方法：
 

 

      上图中就是颗粒物、可凝性气体在真空泵类凝结后会对泵造成的各种损伤。对此，除常规的过滤装置外，真空泵厂家对此总结的做法包括：

 

      1、适当提高泵温，可以避免一些介质在泵内压缩过程中发生气固变相形成颗粒物。

 

      2、降低会反应气体的浓度，这个方法也会用于泵内温度冷却，防止介质降解、聚合形成腐蚀性物质等，也可以防止介质达到着火极限等可能。

 

      3、增加抽气通道中的气流速度，具体方法与第2点相同，在不影响真空泵的极限压力的前提下，就是充入适量气体。