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德耐尔干式螺杆真空泵

时间:2016-12-26 16:45

来源:德耐尔真空泵

作者:德耐尔1111

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关于德耐尔干式螺杆真空泵呢,特点在站内的产品信息里面展现了,小德就不啰嗦那么多了。但是,干式螺杆真空泵的魅力可不止这些!话不多说,直接进入主题!

干式螺杆真空泵规格涵盖范围:

单泵:抽速:80~800m³/hr

      工作压力范围:101325~10Pa

      极限压力:1Pa

双泵:抽速:300~4500m³/hr

      工作压力范围:101325~1.3*×10-1Pa

      极限压力:0.1Pa

:干式螺杆真空泵属于中、高真空应用

腔体冷却特色及选用说明:

间接水冷配件

间接水冷配件

冷却水套

冷却水套(间接冷却)

●依製程需求不同可提供壳体直接/间接水冷方案。
●直接水冷适合达40℃高温环境使用。
●间接水冷可控制腔体良好均温性,可维持製程物在气态。

马达特色及选用说明

水冷马达

水冷马达

气冷马达

气冷马达

自循环冷却

气冷马达自循环冷却

●水冷马达低噪音,适合週遭粉尘多的环境使用,不会因马达风扇卡粉尘导致散热不良。
●气冷马达标配为台湾电机大厂大同马达,也可依客户需求搭配指定品牌。
●无冷却循环水客户可选用气冷马达+自循环冷却机型。

轴封特色

轴封特色及选用说明

转子特色及选用说明:

第一代

第一代—DPS系列;圆棒材加工;旧设计;排气反覆压缩;高温、耗功。

第二代

第二代—DPS系列;平衡孔少;降低回漏率;提高真空度;温度、耗功降低。

第三代

第三代—DPS系列;变导程设计;低温、低耗功。

在半导体行业的应用,德耐尔推出干式真空泵高阶机型。其特色有以下五点:

1、专用冷却液冷却,避免了冷却水可能对壳体造成腐蚀。

2、移动式操作界面,方便操作;显示真空泵实际工作状况,并可选中、英两种文字显示,切实贴近客户。

3、军规电源接头,安全方便。

4、氮气加热器与壳温控制,使真空泵更适应于CVD、PECVD等半导体制程。

5、控制讯号及通讯信号界面,可对真空泵进行远端监控。

高阶机型

德耐尔真空泵,精加工技术,螺杆真空泵拥有核心主机制造技术,一流的检测平台为您提供高效稳定、节能环保的真空泵产品,欢迎留言咨询或拨打德耐尔全国免费客服热线:400-777-0802!


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