德耐尔干式螺杆真空泵
时间:2016-12-26 16:45
来源:德耐尔真空泵
作者:德耐尔1111
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关于德耐尔干式螺杆真空泵呢,特点在站内的产品信息里面展现了,小德就不啰嗦那么多了。但是,干式螺杆真空泵的魅力可不止这些!话不多说,直接进入主题!
干式螺杆真空泵规格涵盖范围:
单泵:抽速:80~800m³/hr
工作压力范围:101325~10Pa
极限压力:1Pa
双泵:抽速:300~4500m³/hr
工作压力范围:101325~1.3*×10-1Pa
极限压力:0.1Pa
注:干式螺杆真空泵属于中、高真空应用
腔体冷却特色及选用说明:
间接水冷配件
冷却水套(间接冷却)
●依製程需求不同可提供壳体直接/间接水冷方案。
●直接水冷适合达40℃高温环境使用。
●间接水冷可控制腔体良好均温性,可维持製程物在气态。
马达特色及选用说明
水冷马达
气冷马达
气冷马达自循环冷却
●水冷马达低噪音,适合週遭粉尘多的环境使用,不会因马达风扇卡粉尘导致散热不良。
●气冷马达标配为台湾电机大厂大同马达,也可依客户需求搭配指定品牌。
●无冷却循环水客户可选用气冷马达+自循环冷却机型。
轴封特色及选用说明
转子特色及选用说明:
第一代—DPS系列;圆棒材加工;旧设计;排气反覆压缩;高温、耗功。
第二代—DPS系列;平衡孔少;降低回漏率;提高真空度;温度、耗功降低。
第三代—DPS系列;变导程设计;低温、低耗功。
在半导体行业的应用,德耐尔推出干式真空泵高阶机型。其特色有以下五点:
1、专用冷却液冷却,避免了冷却水可能对壳体造成腐蚀。
2、移动式操作界面,方便操作;显示真空泵实际工作状况,并可选中、英两种文字显示,切实贴近客户。
3、军规电源接头,安全方便。
4、氮气加热器与壳温控制,使真空泵更适应于CVD、PECVD等半导体制程。
5、控制讯号及通讯信号界面,可对真空泵进行远端监控。
德耐尔真空泵,精加工技术,螺杆真空泵拥有核心主机制造技术,一流的检测平台为您提供高效稳定、节能环保的真空泵产品,欢迎留言咨询或拨打德耐尔全国免费客服热线:400-777-0802!
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