关于德耐尔干式螺杆真空泵呢，特点在站内的产品信息里面展现了，小德就不啰嗦那么多了。但是，干式螺杆真空泵的魅力可不止这些！话不多说，直接进入主题！

干式螺杆真空泵规格涵盖范围：

单泵：抽速：80~800m³/hr

      工作压力范围：101325~10Pa

      极限压力：1Pa

双泵：抽速：300~4500m³/hr

      工作压力范围：101325~1.3*×10-1Pa

      极限压力：0.1Pa

注：干式螺杆真空泵属于中、高真空应用

腔体冷却特色及选用说明：

间接水冷配件

冷却水套（间接冷却）

●依製程需求不同可提供壳体直接/间接水冷方案。
●直接水冷适合达40℃高温环境使用。
●间接水冷可控制腔体良好均温性，可维持製程物在气态。

马达特色及选用说明

水冷马达

气冷马达

气冷马达自循环冷却

●水冷马达低噪音，适合週遭粉尘多的环境使用，不会因马达风扇卡粉尘导致散热不良。
●气冷马达标配为台湾电机大厂大同马达，也可依客户需求搭配指定品牌。
●无冷却循环水客户可选用气冷马达+自循环冷却机型。

轴封特色及选用说明

转子特色及选用说明：

第一代—DPS系列；圆棒材加工；旧设计；排气反覆压缩；高温、耗功。

第二代—DPS系列；平衡孔少；降低回漏率；提高真空度；温度、耗功降低。

第三代—DPS系列；变导程设计；低温、低耗功。

在半导体行业的应用，德耐尔推出干式真空泵高阶机型。其特色有以下五点：

1、专用冷却液冷却，避免了冷却水可能对壳体造成腐蚀。

2、移动式操作界面，方便操作；显示真空泵实际工作状况，并可选中、英两种文字显示，切实贴近客户。

3、军规电源接头，安全方便。

4、氮气加热器与壳温控制，使真空泵更适应于CVD、PECVD等半导体制程。

5、控制讯号及通讯信号界面，可对真空泵进行远端监控。

德耐尔真空泵，精加工技术，螺杆真空泵拥有核心主机制造技术，一流的检测平台为您提供高效稳定、节能环保的真空泵产品，欢迎留言咨询或拨打德耐尔全国免费客服热线：400-777-0802！